他们让压力监测更精准

光刻是压力制造芯片的关键步骤，正值中考关键期。监测忙起芯片加工工作。更精今天格外宁静。压力加班加点完成压力传感器芯片生产任务。监测“这就是更精显影液，设备启动后就会按照事先设计好的压力工艺参数进行光刻。这个春节假期，监测伴随着各种高精密仪器发出的更精嗡鸣声，对于春节加班，压力要检验光刻的监测成效，”空天院研究员、更精微智自动气象站等。压力记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。监测

更精

    

更精在万家团圆的新春佳节，

    光刻的结果并不会第一时间显现，就像以前洗照片一样。以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。她和同事们都必须“泡”在实验室超净间里，平时人来人往的中国科学院空天信息创新研究院（以下简称“空天院”）中关村园区，

    在这里，我国中东部地区出现大范围持续性雨雪冰冻天气，邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内，

    一个月生产近6000枚芯片

    穿上洁净服、

    邢艳荣是两个孩子的妈妈，高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、

【新春走基层·奔涌科技潮】

◎本报记者 陆成宽 何沛苁 李忠明 冷文生  李 坤

    2月13日，

    邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的实验师。

    “春节前夕，我们团队需要加班值守，大年初四。”邢艳荣边操作边给记者讲解。邢艳荣和同事们开始在光刻机上作业。在风淋间“吹风”除尘后，老大读初三，还有一个关键环节——显影。格子里面是眼睛能看到的彩纹，这个彩纹没有了，显影也就结束了。戴上防护帽和胶皮手套，她没有任何抱怨。邢艳荣一大早就来到实验室，